RE123薄膜作製におけるFF-MOD法原料溶液中の金属濃度調整

Control of metal concentration in FF-MOD solution for the synthesis of RE123 thin films


下山 淳一, 堀口 佳吾, 相楽 和豊, 元木 貴則 (青学大); 吉原 健彦, 本田 元気, 小林 慎一 (住友電工)


Abstract:FF-MOD法によるRE123薄膜材料作製においては、塗布する有機酸溶液中の金属濃度に塗布一回あたりの焼成後のRE123層膜厚が依存する。つまり金属濃度が高いほどRE123層の厚膜化が容易になる。最近、我々が開発したRE123焼結体原料から作製したFF-MOD溶液は従来の溶液より沈殿を生じにくい特徴があることから、本研究では溶媒組成の最適化によって溶液中の金属の高濃度化を試みている。講演では高濃度溶液の作製とそれを用いたRE123薄膜の物性、および様々な塗布法に対応するために低濃度溶液の調製も進めており、それを用いた薄膜作製についても報告する。