Microstructure observation of multifilament structured MOD-YBCO film on Zr-patterned substrate
藤本 大貴, GUO Zimeng, 波多 聰, 寺西 亮 （九大）； 松本 明善, 大井 修一 （NIMS）
Abstract:我々は交流応用にも適用可能な薄膜のマルチフィラメント構造を作製する新たな手法として、下地基板の結晶配向の違いを利用した超伝導層の結晶配列化を検討している。これまでZrを約5~20 μm幅の細線状にパターニングしたSrTiO3基板上にMOD法にてYBCO薄膜を作製し、SrTiO3直上の部分では3軸結晶配向するのに対してZr直上では結晶配向が乱れることから、超伝導層の結晶配列化が可能であることを報告している。本研究では、5 μm幅のZr直上におけるYBCO膜の断面組織をFIB-SEMで観察し、ZrバンクやYBCO膜の内部組織の解析結果を報告する。