超伝導Nb3Alペーストの作製と接続技術

Nb3Al paste for superconducting connections


高島 浩, 吉田 良行, 古瀬 充穂 (産総研)


Abstract:Nb3Al粒子を用いて作製したペーストにおいて、超伝導転移温度9Kを達成した。このペーストは、Agペーストの作成と同様の手法で調合した。ペーストを固体基板上にスクリーン印刷し、最適条件下で熱硬化させ、厚さ150μmの膜を形成した。Nb3Al膜の単相はX線回折によって確認した。 各Nb3Al粒子が隣接する粒子と密着していることは断面SEMで確認した。Nb3Al膜の抵抗率は、9K以下ではゼロであり、この膜が低温で超伝導であることを確認した。さらに、NbTi-薄膜-パッド/ Nb3Alペースト膜/NbTi薄膜-パッド接続を気相成長とスクリーン印刷によって作製し、接続抵抗の温度依存性を調べたので報告する。