Buffer material selection in STJ detectors to reduce substrate noise
野口 剛志 （埼玉大）； 藤井 剛, 志岐 成友 （産総研）； 田井野 徹 （埼玉大）
Abstract:超伝導トンネル接合(STJ)検出器はX線分析への応用が期待されている。STJ検出器が抱える課題の一つとして、基板由来のフォノンによって生じるノイズがあり、これにより、低エネルギー領域での分析が困難になっている。先行研究では、基板とSTJの間に酸化膜などのBufferを配置することで基板由来のノイズの低減を目指してきた。しかし、これまでのノイズの評価は、別ウェハの別チップ上に作製した単素子同士を比較する方法であり、厳密な定量評価が困難であった。今回、同一ウェハの同一チップ上に酸化膜、超伝導膜、金属膜の３種類のBufferを形成し、100アレイのSTJを作製することで、Bufferの違いによるノイズ低減効果を厳密に定量評価することが出来た。