FF-MOD法による金属基体上希土類混合RE123薄膜の作製

Preparation of RE-mixed RE123 thin films on metallic substrates by FF-MOD method


堀口 佳吾, 大崎 瑛介, 元木 貴則, 下山 淳一 (青学大); 吉原 健彦, 本田 元気, 小林 慎一 (住友電工)


Abstract:RE123薄膜線材は、その高い磁場中臨界電流特性を活かして強磁場発生コイル等への応用が進められているが、高コストであることが普及を制限している。RE123薄膜線材の製造方法の一つに常圧プロセスで金属組成比制御が容易な有機金属塗布熱分解(MOD)法が挙げられ、中でも成膜速度が速く複数回焼成により厚膜化も可能なフッ素フリーMOD (FF-MOD)法は最も低コストであり量産化に適している。さらに原料溶液中に微量のClを添加することでBa2Cu3O4Cl2 (Ba2342)微結晶がRE123より先に成長するため、2軸配向薄膜生成条件が拡大するとともに、Tcが低下することなくJcが向上することを見出している。近年、FF-MOD法による実用レベルの臨界電流特性を有する長尺線材開発が急速に進展している。本研究では、FF-MOD法による希土類混合RE123薄膜線材の臨界電流特性の向上を試みた。金属組成比を(Yx, Gd1-x) : Ba : Cu = 0.95 : 2 : 3 (x = 0 – 1)で混合した住友電気工業社製Y123, Gd123量産溶液もしくは自作の希土類混合(Y,Gd)123原料溶液を用いて、2軸配向中間層を有するIBAD基板上に(Y,Gd)123薄膜を作製したのでその結果について報告する。