Zrをパターニングした基板上へのMOD-YBCO薄膜の結晶配向制御

Control of crystal array of YBCO film prepared by MOD process using Zr-patterned substrate


藤本 大貴, 寺西 亮 (九大); 大井 修一, 松本 明善 (NIMS)


Abstract:本研究では、交流応用にも適用可能な薄膜構造を得ることを目的に、Zrを細線状にパターニングしたSrTiO3基板上にMOD法にてYBCO薄膜を作製した。その結果、YBCOの結晶はZrパターンの無い箇所では2軸配向するのに対してZrパターン上ではランダムに乱れることが示された。このことから、Zrのパターニングを利用することで基板上にてYBCOの配向部と非配向部が細線状に配列した構造が得られることが分かった。