Thickness dependence of crystal orientation of MOD-YBCO films deposited on Zr-patterned substrates
藤本 大貴, 寺西 亮 （九大）； 大井 修一, 松本 明善 （NIMS）
Abstract:我々は、交流応用にも適用可能な薄膜のマルチフィラメント構造を作製する新たな手法として、下地基板の結晶配向の違いを利用した超伝導層の結晶配列化を検討している。本研究では、Zrを約5~10 μm幅の細線状にパターニングしたSrTiO3基板上にMOD法にてYBCO薄膜を作製した。その結果、YBCO膜はSrTiO3直上の部分では3軸結晶配向するのに対してZr直上では結晶配向が乱れることが分かり、本法にて超伝導層の結晶配列化が可能であることがわかった。また膜厚依存性を調査した結果、膜厚の増大によりZr上での結晶の配向の乱れは面内方向に広がることが分かった。