Fabrication process of Vapor-Liquid-Solid thick YBa2Cu3Oy coated conductors using RtR system.
美和 虎之介, 吉田 隆 （名大）
Abstract:高温超伝導応用に向けて、REBa2Cu3Oy (REBCO) coated conductors(C.C.)の低コスト、高Ic化が求められている。我々は、静止系システムを用いてVapor-Liquid-Solid (VLS)成長法により成膜速度1.4 um/min.でYBCO厚膜を作製し、膜厚10 umでIc = 625 (A/cm-width, 77 K, 自己磁場中）を達成した。本研究では、Reel to Reel(RtR)-VLS成長法を用いた高Ic長尺C.C.を高速で作製することを目的とした。テープ移動速度の上昇に伴い、Ic低下、膜厚低下を確認した。高いテープ移動速度、高Ic化を図るために、原料供給量や液相供給量の増加による高Jc化、また厚膜化による高Ic化を検討している。当日はテープ移動速度と均質性に関しても報告する予定である。