フッ素フリーMOD法RE123薄膜への微小析出物導入による高Jc化

Enhancement of Jc for fluorine-free MOD processed RE123 thin films by introduction of fine precipitates


小澤 美弥子, 金泉 莉大, 瀬川 雄大, 元木 貴則, 小口 有希, 下山 淳一 (青学大)


Abstract:RE123薄膜作製方法の中でもフッ素フリーMOD法は、均質で平坦な表面を有する薄膜が短時間で得られるため量産性が高く、工業化に有望な手法である。近年の研究で、Y123薄膜に対するClと不純物金属(M = Zr, Sn, Hf)の共添加により、膜中に微細なBaMO3(BMO)析出物が生成しJc特性が向上することが分かっている。今回我々は自作の原料溶液を用いて精密な金属組成制御を行うことで、配向を乱すことなく従来よりも高濃度の不純物金属を添加したY123薄膜の作製が可能であることを見いだした。また、Y123薄膜の酸素量の最適化を行うため長時間酸素アニールを行ったところJcが改善し、Zr3%添加試料はこれまでに報告されているフッ素フリーMOD法RE123薄膜の中で最も高いJc(40 K, ~4 T) ~ 2.2 MA cm-2を示した。現在さらなる高Jc化に向けて、不純物金属導入条件の最適化に取り組んでおり、当日は様々な条件で作製したY123薄膜のJc特性について報告する予定である。