Fabrication of NbN Lumped-Element Kinetic Inductance Device for Photon-Number Resolving Detector Array
寺井 誠, 成瀬 雅人, 田井野 徹, 明連 広昭 （埼玉大）
Abstract:生体試料中の蛍光物質からの時間相関蛍光分光を行うために、光子数検出可能なアレイ検出器を集中定数カイネティックインダクタンス検出器(LEKID)をもちいて実現しようとしている。本発表では、室温に置かれた生体試料からの蛍光を光ファイバーを用いて極低温に置かれたLEKIDに導入することを前提として、NbN薄膜を用いた200ミクロン角程度の大きさのLEKIDを作製し、基礎特性を測定したので報告する。