富士電機の小型冷凍機技術

Fuji's micro Cryocooler Technologies

竹内孝行, 松下智行, 神田尚明（富士電機）

Abstract:富士電機の小型スターリング冷凍機およびパルスチューブ冷凍機の実績とアプリケーション技術を紹介する。