走査型プローブ顕微鏡用ヘリウム循環冷却システムの熱解析(Ⅲ)

Thermal analysis of a helium circulation cooling system for scanning probe microscopes (Ⅲ)


寺岡 総一郎, 青井 優樹 (東大); 横田 統徳, 佐々木 徹, 宮武 優 (ユニソク); 福山 寛 (東大)


Abstract:極低温走査プローブ顕微鏡は基礎研究分野で広く使われており、
その冷却にヘリウム循環方式を採用できれば応用範囲がさらに広がる。
前回は、試作した低振動伝達・低熱損失液体ヘリウム移送管の
断熱性能を実測し熱計算通りの低熱損失性を確認し、
間欠的な送液が繰り返される自励振動を観測したことを報告した。
今回は、各部の圧力やヘリウム液面を自動計測・制御することで、
この振動現象のメカニズムを詳しく調べた結果を報告する。