マルチビームによるレーザースクライビング加工速度の向上

Increase of speed of laser scribing process by multi beam

町敬人, 衣斐顕, 和泉輝郎（産総研）

Abstract:前回のデュアルビームに引き続き，さらにビーム本数を増やしてレーザースクライビングの加工速度の向上を試みた結果を報告する。