Technical issues of multi-beam laser scribing
町 敬人, 衣斐 顕, 和泉 輝郎 （産総研）
Abstract:エキシマレーザーを用いたレーザースクライビングは，REBCO線材の多芯化に必要な技術であるが，産業レベルへの適用となると加工速度を高めなければならない。そのためには，一回の照射で複数の溝を形成できるマルチビーム化を実現する必要がある。数10µm幅の溝を正確に切削するためには，光学マスクに入射するビームサイズを広げ，なおかつビーム内での強度分布を一定に保つ必要がある。複数のシリンドリカルを組み合わせたホモジナイザーでマルチビームを照射するための課題と解決方法について報告する。