Preparation and physical properties of bi-axially oriented layered oxide buffer layers by MOD method
元木 貴則, 池田 周平, 権藤 紳吉, 下山 淳一 （青学大）； 中村 新一 （TEP）； 土井 俊哉 （京大）； 本田 元気, 永石 竜起 （住友電工）
Abstract:REBCO薄膜線材は、金属基板上に2軸配向した酸化物中間層を堆積させ、その上にYBCOをエピタキシャル成長させることにより作製される。中間層の成膜法としてはIBAD-PLD法やスパッタ法などの真空チャンバー内での成膜が主流であるが、非真空プロセスであるMOD法やゾルゲル法を用いた低コストな中間層開発の試みも近年盛んに行われている。本研究では、特にLa2(Sr,Ca)Cu2O6 (La2126)などの複数金属からなる層状酸化物に着目し、MOD法による配向膜を作製し結晶性や物性、微細組織を評価した。空気中、900°C焼成により高度に2軸配向したLa2126薄膜の作製に成功した。また、このLa2126上へのフッ素フリーMOD法を用いたYBCO薄膜の堆積および超伝導特性についても報告する。