A Consideration of The Solidified Removal System of a Thin Ammonia in Mix Gas
田中 峰雄 （TS・テクノサポート）； 柏 笑冬, 金 鐘列, 松岡 茂 （島川製作所）
Abstract:一般に半導体製造工程においては、水素、窒素、アンモニアを含む各種の物質を原料として使用され、アンモニアを含んだ混合ガスが排出される。これらの排出ガス中のアンモニアは通常燃焼除害され環境に放出されるが、その際、副産物として、NOxが生成されることが課題となっている。
我々はアンモニアを含む混合ガスを約120K以下に冷却することによって、アンモニアを固化除害したのち、大気放出する方法を考案した。約120Kにおけるアンモニア飽和蒸気圧は約0.1Pa程度と非常に低いことから、NOxを生成することなく、排出されるアンモニア量は燃焼除害方式に比して低減できることを見出した。以下に、固化除害方式の概要と具体的な試算例およびその有用性について検討したので報告する