Preparation and characteristics of superconducting joints of epitaxial NbTi thin films
高島 浩, 外岡 和彦, 吉田 良行, 古瀬 充穂 （産総研）
Abstract:NbTi薄膜を室温でRFマグネトロンスパッタリング法によってSrTiO3（001）単結晶基板上に成膜し、優れた結晶性を有す平坦なエピタキシャル薄膜が得られ、低温で良好な超伝導性を示すことを確認した。今回、超電導接続であるNbTi薄膜/NbTi薄膜の積層構造を室温でRFマグネトロンスパッタリング法によって作製し、その電気的特性を調べ、温度5K以上でカンタムデザイン社製物理特性測定装置（PPMS）で1μΩ以下の抵抗を確認した。この抵抗オーダーでの超電導接続に成功した。NbTi薄膜の特性、接続の作製方法、低温での電気的特性について報告する。