走査型プローブ顕微鏡用ヘリウム循環冷却システムの熱解析(II)

Thermal analyses of a helium circulation cooling system for scanning probe microscopes (II)


寺岡 総一郎 (東大); 横田 統徳, 佐々木 徹, 宮武 優 (ユニソク); 福山 寛 (東大)


Abstract:極低温走査プローブ顕微鏡(LT-SPM)は基礎研究分野で広く使われており、その冷却にヘリウム循環方式を採用できれば応用範囲がさらに広がり、長時間連続測定による性能向上も望める。開発中のSPM用ヘリウム循環冷却システムの主要構成要素である低振動・低熱損失液体ヘリウム移送管の断熱性能を測定した結果を示し、数値熱解析の結果と比較する。