Shortening of synthesis time for fluorine-free MOD Y123 thin films
池田 周平, 元木 貴則, 下山 淳一 （青学大）； 本田 元気, 永石 竜起 （住友電工）
Abstract:様々なRE123薄膜の作製方法の中でもフッ素フリーMOD法は均質で平坦な表面を持つ薄膜が短時間で得られるため工業化に適した手法である。今回我々は、この方法でのY123薄膜作製において、原料溶液へのCl添加や成膜条件の最適化を行うことにより、成膜プロセスを従来の半分の時間に短縮しても、高Icを示すY123配向膜が金属Clad基板上に形成できることを見出した。仮焼・焼成・酸素アニールを合わせて約15時間まで短縮しても高Ic (77 K, ~0 T) ~ 90 A cm-1を示す配向膜の作製が可能であることを報告する。また、フッ素フリーMOD法の特徴を活かして、焼成膜の上に再度塗布・仮焼・焼成を繰り返した2回焼成による厚膜化によってさらなる高Ic化~130 A cm-1にも成功しており、結晶配向性や微細組織と合わせて議論する。