Material analysis of superconducitng tunnel junction soft X-ray detectors
浮辺 雅宏, 藤井 剛, 志岐 成友, 大久保 雅隆 （産総研）
Abstract:我々は、4.1eV@400eVという半導体検出器の10倍以上のエネルギー分解能を実現した100 x 100μm平方のNb/Al超伝導トンネル接合(STJ)を最大で512個集積したSTJアレイ軟X線検出器を開発し、SDDに対して約10倍のエネルギー分解能と、結晶分光器に対して数百倍の検出効率を同時に実現した。開発した同検出器を活用し、軽元素ドーパントについての未活用情報取得を可能とするため、2種類の先端計測機器（超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置(SC-XAFS)及び超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM))を整備した。両装置は文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」（http://nanonet.mext.go.jp/）のもと既に共用装置として公開され、実材料の分析に使用されている。これら各先端計測機器の概要及び、同装置で得られた測定例について説明する。