Evaluation of the thickness dependencies for NbTiN ultra-thin films
丸山 晃平, 鈴木 雅斗, 佐野 京佑, 田中 雅光, 藤巻 朗 （名大）； 井上 真澄 （名城大）
Abstract:現在，高感度性に優れる超伝導検出器や高出力インピーダンス及び高出力電圧に優れる超伝導熱援用デバイスなど超伝導超薄膜を利用したデバイスの研究が盛んに行われている．本研究では，これらのデバイスへの応用を目的とし，超伝導特性が下地基板の種類には大きく左右されないNbTiN薄膜に着目し特性の評価を行っている．今回，NbTiN超薄膜の抵抗率，臨界温度，キャリア密度などの膜厚依存性を調査したためその結果について報告する．