フッ素フリーMOD法によるGdBCO配向膜の作製

Preparation of textured GdBCO thin films using fluorine-free MOD method


元木 貴則, 下山 淳一 (青山学院大); 本田 元気, 永石 竜起 (住友電工)


Abstract:フッ素フリーMOD(FF-MOD)法は原料にフッ素を含まない溶液を用いた化学的手法である。真空装置を必要とせず、均質で平坦な表面を持つREBCO薄膜が短時間の焼成で得られることから工業化に適した手法であると言える。TFA-MOD法やPLD法などでは、REBCOではやや高いTcを示すGdを用いた研究開発が盛んであり長尺線材が製造されているが、FF-MOD法においてはREとしてY以外を用いた研究はほとんど報告されていない。今回は、STO単結晶基板および金属Clad基板上で製膜条件を系統的に変化させてGdBCO薄膜を作製し、その結晶配向性や超伝導特性について議論する。