Fabrication and evaluation of NbTiN tunnel junctions with Hf overlayers
宗本 健太郎, 山本 直輝, 赤池 宏之, 藤巻 朗 （名大）
Abstract:我々は、電磁波検出器への応用を目指したNbTiNトンネル接合の作製と評価を行っている。
NbTiNトンネル接合の障壁層にHfを用いることで、良好な接合特性を得ることを目指している。
今回は、2種類の接合(NbTiN/Hf/Al-AlNx/NbTiN及びNbTiN/Hf-HfOx/NbTiN接合)の作製を行い、Hfが接合特性にどのような影響を与えるか評価を行った。