A Measurement System for Characterization of Josephson Voltage Standard Devices
佐々木 仁, 東海林 彰, 山森 弘毅, 神代 暁 （産総研）
Abstract:産業技術総合研究所では、産業応用を目的として、小型冷凍機を用いたコンパクトなジョセフソン電圧標準システムの開発を行っている。本装置の中核となるプログラマブル・ジョセフソン電圧標準素子は、ジョセフソン接合が約6万個集積された超伝導集積回路であるが、サブPPM (7桁)レベルの高精度な電圧基準として用いられるためには、温度特性や動作マージン、耐ノイズ性能などについて、詳細な評価を行う必要がある。また、製品化を念頭に置いた場合、作成された素子の中から精密な電圧発生が可能な素子を効率よく選別する手法が重要になる。本報告においては、既存のジョセフソン電圧標準システムをベースとして開発された素子評価・選別システムについて、評価システムの構成や動作原理および評価・選別方法について報告する。