Design and fabrication of 64pixel TES X-ray micro-calorimeter for STEM-EDS
林 佑, 永吉 賢一郎, 満田 和久, 山崎 典子, 竹井 洋 （JAXA）； 前畑 京介 （九大）； 原 徹 （NIMS）； 田中 啓一 （日立ハイテクサイエンス）； 山口 静哉, 宮崎 直人 （首都大）
Abstract:STEM-EDSではイメージ化と高いエネルギー分解能で組成分析を併せ持つ検出器が求められている．その要求に対して，TES型X線マイクロカロリメータを組み込むことでその問題に試みた．STEM-EDSの要請から64pixel素子の設計とその製作を行った．今回はその設計のコンセプト及び製作の現状を報告する．