Fabrication of Cl-doped RE123 films by FF-MOD method
元木 貴則, 下山 淳一, 山本 明保, 荻野 拓, 岸尾 光二 （東大）； 本田 元気, 永石 竜起 （住友電工）； 黒川 哲平 （東洋鋼鈑）
Abstract:RE123薄膜の作製法の中でもフッ素フリーMOD（FF-MOD）法は原料にフッ素を用いないため環境負荷が小さく低コストであるという利点を持つ。さらに、極めて短時間焼成での成膜が可能であり、均質で平坦な表面を持つ薄膜が得られることから工業化に適した手法であると言える。高Jc化のためには不純物ドープなどが有効であることが知られているが、本手法においては不純物ドープした配向膜の作製が困難であった。これまでの研究から原料溶液にClドープを行うことで、Ba2Cu3O4Cl2が膜中に生成しRE123相の配向を補助することが明らかになっており、Clと不純物の共ドープによるSTO単結晶基板上でのRE123配向膜の作製および、金属基板上への薄膜作製の展開について報告する。