Evaluation of the magnetic penetration depth of NbTiN thin films toward superconducting circuits
坂本 隼也, 宗本 健太郎, 赤池 宏之, 藤巻 朗 （名大）
Abstract:我々は単一磁束量子回路への応用に向けたNbTiN材料の検討を行っている。従来の単一磁束量子回路は回路配線にNbを用いているが、NbTiNはNbよりも大きな磁場侵入長を持つため、シートインダクタンスを大きくすることができる。そのため、回路の集積化が期待できる。今回はNbTiN薄膜の磁場侵入長を評価したので報告する。