Increase in thickness of chlorine-doped Y123 films by FF-MOD method.
元木 貴則, 下山 淳一, 山本 明保, 荻野 拓, 岸尾 光二 （東大）
Abstract:フッ素フリーMOD（FF-MOD）法によるRE123薄膜の作製は原料にフッ素を用いないため環境負荷が小さく、成膜速度が早く低コストであることから工業化に適している。また、TFA－MOD法などに比べて均質で平坦な膜面が得られることから厚膜化に適した手法であるといえる。一方、膜厚の増加とともに臨界電流密度Jcが低下し、高Jcを維持したまま厚膜化することは困難であった。本研究ではFF-MOD法Y123薄膜の作製において原料溶液に微量の塩酸を加えることによりBa2Cu3O4Cl2で表される酸塩化物を膜中に析出させ、更に複数回の溶液塗布と焼成を行うことでJc特性を維持したまま厚膜化することに成功した。講演では、厚膜化した塩素ドープY123薄膜の微細組織及びJc特性の改善について報告する。