Fabrication and evaluation of NbTiN film towards 10K operation of single-flux-quantum logic circuits
坂本 隼也, 赤池 宏之, 藤巻 朗 （名大）
Abstract:単一磁束量子(SFQ)回路は一般的に4Kで動作するため、冷凍機を必要とする。
SFQ回路の消費電力は、回路自身の消費電力と冷凍機の消費電力の和となる。
一般的にSFQ回路はNb接合が用いられるが、NbTiN接合を用いることで10K動作が期待できる。
SFQ回路の10K動作が可能となれば、冷凍機での消費電力の大幅な削減が可能となり、SFQ回路の低消費電力化が可能となる。
SFQ回路が10Kで安定動作するために必要なNbTiN薄膜特性を見積もり、見積もった条件を満たす薄膜を得た。