Improvement in power-handling capability of superconducting filters using 3D matrix micro strip line resonators.
高橋 峻平, 秋谷 守紀, 齊藤 敦, 大嶋 重利 （山形大）
Abstract:超伝導マイクロストリップライン共振器(MSLR)の高耐電力化に関しては、共振器の構造を改善する方法が重要である。これまでの報告例としては、マイクロストリップ線路の膜厚方向を積層する積層型MSLR、幅方向に分割する分割型MSLRなどがあり、いずれも高耐電力化に有効であることが報告されている。さらに耐電力特性を向上させるために、我々は、新たな3DM-MSLRを提案している。それはMgO基板上にNbN/AlN/NbN薄膜を積層し、それをさらに幅方向に分割するストリップラインである。本報告では3DM-MSLRの作製手法やその共振器を用いたフィルタの耐電力を測定し、3DM-MSLRの有効性の検討結果を述べる。