レーザースクライビング加工によるマルチフィラメント化プロセスの高速化

Speeding up of laser scribing process for fabrication of multi-filamentary coated conductors

町敬人, 中尾公一, 田辺圭一（ISTEC）

Abstract:レーザー照射と２段階エッチングを組み合わせたレーザースクライビング加工において，プロセスの高速化のためにレーザー出力の増加とエッチング装置の大型化を行った結果を報告する。