Heat-treatment condition and superconducting properties of FF-MOD Y123 films
石渡 悠人, 下山 淳一, 元木 貴則, 岸尾 光二 （東大）； 永石 竜起 （住友電工）
Abstract:Y123薄膜の作製法のうち原料にフッ素を用いないFF-MOD法は、低コストで環境負荷が小さいことから工業化に適している。c軸配向Y123薄膜が得られる成膜時の基板温度や酸素分圧は限られていることが分かっているが、これまでFF-MOD法における焼成条件と超伝導特性との系統的な関連性は分かっていない。そこで我々は焼成時の酸素分圧・温度・焼成時間を系統的に変化させ、その微細組織・配向度・超伝導特性を評価した。