Nd:YAG-PLD法を用いたFe(TeS)膜の作製

Fabrication of Fe(TeS) films by Nd:YAG-PLD method


吉田 隆, 吉田 圭, 一野 祐亮, 高井 吉明 (名大); 一瀬 中 (電中研); 松本 要 (九工大); 藤井 由隆, 寺西 亮, 向田 昌志, 木須 隆暢 (九大)


Abstract:本研究では、Fe11系膜の高特性化をめざして、Fe(TeS)薄膜に着目して研究を始めている。MgO, STOおよびLaAlO3単結晶基板上に、YAGレーザ(2倍波)法を用いてFe(TeS)薄膜を
作製した。STOおよびLaAlO3単結晶基板上は面内配向性は良好でcube on Cube成長をしていることが確認される。またTcは5K程度とこれまで報告されている値と同程度である。300℃程度で作製した薄膜の組成はTeが少なくなっていることがわかった。当日は、組成や成膜条件をさらに詳細に検討した結果とともに、薄膜成長方法を改良することにより結晶粒径の制御を検討しているので紹介したいと思う。