Nb and Ta Films for Superconducting Tunnel Junctions Fabricated by a Newly Rotating Multi-Facing Target Sputtering System
諸橋 信一, 河野 佑介, 波多野 雅也 （山口大）
Abstract:超伝導X線検出器への応用のために，準粒子寿命の永いTa薄膜を超伝導電極として用いた超伝導トンネル接合を作製することである。そのために，準粒子寿命の永いTa薄膜を接合電極として用いることを検討した。この接合作製には，多元スパッタで，かつダメージを与えにくい低温スパッタが必要である。新規に開発した回転型低温６元対向スパッタによる，接合電極用Ta薄膜作製と，その適用例として下部電極のみTa薄膜を用いたNb/AlOx-Al/Ta/Nb接合素子を作製したので報告する。