RF-Sputter法によるRe-123系線材用CeO2中間層の開発 (4)-量産検討とIBAD-MgO上の成膜検討-

Development of CeO2 buffer layer for coated conductors by RF-Sputtering(4)


中西 達尚, 小泉 勉, 青木 裕治, 青木 伸夫, 長谷川 隆代 (昭和電線); 飯島 康裕, 齋藤 隆 (フジクラ); 高橋 保夫, 吉積 正晃, 和泉 輝郎 (SRL)


Abstract:長尺線材の低コスト化を目指し、IBAD-GZO/Hastelloy上のCeO2の長尺成膜の量産化とIBAD-MgO/Hastelloy上のCeO2成膜の長尺化検討を行っている。詳細については、当日報告する。