Relation between surface state of IBAD-MgO and the in-plane grain alignment of the CeO2 cap layer
畠山 英之, 吉積 正晃, 伊藤 岳文, 栗木 礼二, 高橋 貴彦, 山田 穣, 和泉 輝郎 （SRL）
Abstract:我々はIBAD-MgO基板を用いた薄膜線材の低コスト化製造技術開発を行っている。その構造がCeO2/IBAD-MgO/Gd-Zr-O/HastelloyであるIBAD-MgO基板において、CeO2層の面内配高度はIBAD-MｇO層の表面状態に影響を受ける。特に加湿処理を行ったIBAD-MｇO層上ではCeO2層はCube-on-Cubeの状態で面内配向度が向上することが確認された。本発表では加湿処理等を行ったIBAD-MｇOの表面状態とCeO2キャップ層面内配向度の関係を報告する。