Thin Film Thermometer for Cryogenic Temperatures
四谷 任, 田中 峰雄 （大阪府立大）； 筧 芳治, 佐藤 和郎 （大阪府立産業技術総合研究所）； 石田 武和 （大阪府立大）
Abstract:Cernox，RuO，Ptなど幾種類かの極低温用温度計が市販されている。薄膜タイプの温度計は高速応答性、小さな熱容量を有し、種類によっては小さな磁気抵抗効果など優れた特徴を持っている。
我々は、窒化クロム薄膜（CrN）が400Kから0.6Kまで優れた感度と小さな磁気抵抗効果を示すことを見いだした。更に、Crと窒素の二元系であり生産の再現性が期待できる材料である。発表ではCrNのR-T特性磁気抵抗特性などを論議するとともに日本初の新たな極低温用温度計の提案をする予定である。