Development of Temperature-Sensor for Cryogenic region -Ⅱ
四谷 任, 田中 峰雄 （大阪府大）； 佐藤 和郎, 筧 芳治 （府産技研）； 石田 武和 （大阪府大）
Abstract:CrN薄膜温度計は①室温から１K以下まで合理的な感度を有し②10Tまで十分小さな磁気抵抗効果③小さな熱容量④高い熱伝導率など極低温温度計に必要とされる条件を兼ね備えている。前回の報告では高周波sputterで作成したCrN薄膜温度計について報告を行ったが、今回はDC-sputter法で成膜した薄膜温度計の特性について報告する。特に作成方法の違いが温度計の特性に与える影響について報告する予定である。