Characterization of vibration during transportation of magnetic levitation transportation system （2）
花本 豊彰, 小森 望充, 浅海 賢一 （九工大）
Abstract:近年，半導体の製造環境では，微細な塵の存在が半導体の歩留まり向上のための問題となり，磁気浮上の搬送系への利用が注目されてきている。
本研究では容易に強い浮上力が得られる超電導体のピン止め力を用いた無摩擦，無発塵の磁気浮上装置，位置決め可能な搬送装置を試作しこれらを組み合わせることにより搬送時の振動制御の有効性を検討してきたが，搬送時における浮上体の振動制御が有効であると断定できるだけの振動特性データを得ることができなかった。
そこで，今回は搬送装置を改良し，様々な搬送状態における浮上体の振動特性データを得ることで再度振動制御の有効性を検討する。