High production rate of IBAD-MgO layer by a large assisting ion source
羽生 智, 田下 千晴, 林田 知朗, 花田 康, 森田 克洋, 須藤 泰範, 朽網 寛, 五十嵐 光則, 柿本 一臣, 飯島 康裕, 齊藤 隆 （フジクラ）
s_hanyu*fujikura.co.jp
Abstract:世界最大のアシストイオンソースを有するIBAD装置によりIBAD-MgOの大面積成膜を行った。
これにより500m/h（10mm幅）以上の作製速度で500m級のIBAD-MgO線材作製に成功した。
また、本IBAD-MgO上にPLD-CeO2を成膜することにより⊿Φ＝4〜5°の高品質の中間層を作成することに成功した。