Long length LMO Layer fabricated on IBAD-MｇO substrate
畠山 英之, 吉積 正晃, 宮田 成紀, 衣斐 顕, 山田 穣, 和泉 輝郎, 塩原 融 （SRL）
h.hatakeyama*istec.or.jp
Abstract:近年開発されたIBAD-MgO基板は数10-100 m/hの高速製造が可能である。このため、我々はIBAD-MgOを使った薄膜線材の低コスト化製造技術開発を行っている。その構造がCeO2/LaMnO3（LMO）/IBAD-MgO/Gd-Zr-O/Hastelloyである基板において、LMO層の製造速度を50 m/hまで向上させたことを前回報告した。本研究では基板の100mまで長尺化と、さらなるLMO層の製造速度向上を試み、60 m/hを達成したので報告する。