Research and Development of Non-contact Spin Processor Applying Superconducting Magnetic Levitation
風間 亨介, 関矢 將太, 福井 聡, 小川 純, 岡 徹雄, 佐藤 孝雄 （新潟大）； 斉藤 公世, 宮崎 紳介 （MTC）
fukui*eng.niigata-u.ac.jp
Abstract:半導体フォトマスク製造プロセスに用いるスピン処理装置にHTSバルクを用いた磁気浮上を適用し非接触化することにより，従来の機械軸受からの微粒子ダストの発生を抑えて，よりクリーンなマスク製造環境を実現に寄与することを目的とした研究である。我々は，JST委託開発の支援を受けて，本装置の実用化に向けた研究開発を行っている。本報告では，プロジェクトで開発している要素試験装置の詳細，及びそれを用いた浮上回転試験に関する速報を行う。