Nd:YAGパルスレーザー蒸着法を用いて作製したYBCO薄膜の超伝導特性

Superconducting properties of YBCO films prepared by forth harmonic Nd:YAG pulsed laser deposition method


一野 祐亮, 吉田 隆, 吉村 拓也, 高井 吉明 (名大); 吉積 正晃, 和泉 輝郎, 塩原 融 (SRL); 加藤 丈晴 (JFCC)
ichino*nuee.nagoya-u.ac.jp


Abstract:コーテッドコンダクターにおける超伝導層を作製する手段として、エキシマレーザーを用いたパルスレーザー蒸着(PLD)法が主流であるが、エキシマPLD法は希ガスなどの高価なガスやハロゲンガスなどの有毒ガスを用いる必要がある。一方、4倍波Nd:YAGレーザーはKrFエキシマレーザーと同程度の波長266 nmを持ちながら、電力以外は必要としない利点を持つ。しかし、Nd:YAG PLD法を用いて作製したYBCO薄膜において、Jc@77 Kが1 MA/cm^2を超える報告は現在の所ない。
本発表ではNd:YAG PLD法を用いて作製したYBCO薄膜の超伝導特性について、基板温度、酸素圧力、基板-ターゲット間距離、繰り返し周波数など、様々なパラメータを最適化した結果、MgO単結晶基板上ではあるが、Tc~90 K、Jc>1 MA/cm^2を示すYBCO薄膜が得られた。
当日は、YBCO薄膜の磁場中超伝導特性、金属基板上での超伝導特性に関しても報告を行う予定である。