An improvement of operating characteristics of the 3-D superconducting actuator with HTS bulks
奥川 恵介, 井上 大嗣, 上荷 洋平, 金 錫範, 村瀬 暁 （岡山大）
okugawa*power.elec.okayama-u.ac.jp
Abstract:我々は，クリーンルーム内でシリコンウェハなどの機械的接触や粉塵を嫌う物品の搬送を目的とし，高温超電導バルク体を使用した非接触で3次元的動作が可能な三次元超電導アクチュエータの研究開発を行ってきた．開発する超電導アクチュエータは，移動子として着磁した高温超電導バルク体，固定子として2次元配列した電磁石群で構成され，二次元配列された電磁石を個別に制御することによってバルク体の鉛直方向，水平方向への移動および回転を可能としている．ここでは，三次元超電導アクチュエータの動作特性改良のため，固定子として使用する電磁石の形状と発生磁場，超電導バルク体の着磁方法について検討を行った．また，実際の応用においては，電磁石の数を減らすことと，固定子である電磁石への通電電流を小さくすることが経済性を向上させられると考えている．そこで，電磁石の配置間隔を変えた場合と磁気回路の性能を高めるため強磁性体の板を電磁石の下部に設置した場合について検討したのでその結果について報告する．