Preparation of superconducting Mg-B film by sputtering (3) - The effects of B purity on Mg-B film -
鈴木 光政, 佐久間 大, 名雪 勝信, 千葉 優, 柏倉 隆之 （宇都宮大）
msuzuki*cc.utsunomiya-u.ac.jp
Abstract:スパッタ法により，Mg-B超伝導薄膜の作製を検討している。Mgターゲットの上にBチップを配置したシングルターゲットを構成し，rf-マグネトロンスパッタ法を採用した。チャンバー内には，液体窒素シュラウドを基板ホルダーを囲むように配置し，ガス不純物が薄膜内に混入するのを防ぐ対策を施してある。これまで，as-grown状態で超伝導になる薄膜を作製したが，超伝導臨界温度は24K前後でまだ低く，最適な作製条件の検討を続けている。今回は，アルゴンガス流量とターゲットB材の純度の効果を検討したので，その結果について報告する。