Composition dependence on microstructure in MgB2 film fabricated by electron beam evaporation
波多 聡, SOSIATI Harini, 池田 賢一, 中島 英治 （九大）； 土井 俊哉 （鹿児島大）； 北口 仁 （NIMS）
hata*mm.kyushu-u.ac.jp
Abstract:電子ビームでMgとＢの蒸気を発生させ、２５０℃のSi基板上にMgB2膜を形成させた。膜組織はMg:B組成比に依存した。膜の平均組成が化学量論組成MgB2よりもMgリッチのときには、未反応Mg領域が膜内に生成し、大気中で酸素等と反応することで組織が劣化した。逆に、Bリッチ条件では均一な柱状晶組織のMgB2膜が得られ、膜作製後も組織の劣化は認められなかった。Bリッチ化による顕著な超伝導特性の低下は見られないことから、安定した膜組織が得られるBリッチ条件でのMgB2膜作製が実用上有効と考えられる。