Fabrications of IBAD-MgO substrate （1） -Rapid fabrication of MgO in long length-
吉積 正晃, 伊藤 岳文, 宮田 成紀, 須藤 泰範, 衣斐 顕, 山田 穣, 和泉 輝郎, 塩原 融 （SRL）
myoshizumi*istec.or.jp
Abstract:コストと特性の両立のため、高速で製造が可能なIBAD技術として、MgOを利用した成膜技術が注目されている。我々はこれまでに24m/hの製造速度でMgO配向層を成膜し、Hastelloy/GZO/IBAD-MgO/LMO/CeO2/GdBCO構造の線材を作製した。この線材において超電導特性として500A以上のIcを得ていたが、製造速度・基板単長・結晶粒配向度の面で課題があった。今回、大型装置の導入などにより更なる低コスト・高速製造化を図ると共に、高配向化についても検討を行ったので、高特性IBAD-MgO基板の高速化・長尺化について報告する。