極低温使用材料の熱伝導率測定

Measurement of Thermal Conductivity of Materials Used at Low Temperature

藤平誠一（フジヒラ）；渡邊和訓, 藤平潤一（FEDLIC）；内田公（NESTA）
kfjhr*ca.mbn.or.jp

Abstract:市場で流通している装置開発用材料のうち極低温下で使用しているAlN、ニトフィックス、サファイアについて定常熱流法により熱伝導率を測定した。本発表においてその方法及び測定結果について報告する。