High-rate deposition of longth length GdBCO coated conductor by in-plume PLD method
筑本 知子, LEE Sergey, 中尾 公一, 田辺 圭一 （SRL）
chiku*istec.or.jp
Abstract:REBa2Cu3Oy（REBCO）テープ線材開発が盛んに行われているが、実用化のためには、臨界電流特性（Ic（B））の向上が重要である。Ic（B）の向上においては、高いJc値を保ちつつ，厚膜化をはかることが重要である。PLD法においては、膜厚の増加とともに、Jcが低下することが報告されていたが、前回秋の学会の報告で、レーザープルームの中に基板を保持して蒸着を行う方法（In-plume PLD法）により、３μm以上の厚膜まで高Jcを維持したまま成膜が可能であることを示し、また本方法で従来の２〜３倍の速度で成膜できることを報告した。その技術をもとに新規に長尺用の蒸着装置を開発し、リール・ツー・リール法で線材作製を行ったので、その結果について報告する。なお、本研究は新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の委託により実施された。また基板を提供いただいたSRL名古屋の山田氏、衣斐氏、宮田氏、栗木氏に感謝致します。