PLD法によるGdBCO線材の高速成膜

Dramatically high throughput of GdBCO coated conductors by PLD technique


五十嵐 光則, 柿本 一臣, 花田 康, 羽生 智, 林田 知朗, 田下 千晴, 森田 克洋, 朽網 寛, 飯島 康裕, 齊藤 隆 (フジクラ)
m_igarashi*fujikura.co.jp


Abstract:Y系超電導線材は線長500m級でIcが300A/cm以上の実用レベル特性に到達してきているが、製造速度が遅いことがネックであった。しかし、中間層作製のIBAD法ではMgOを使用することで高速化の目処が立ちつつあり、PLD法でもレーザスキャン方法の工夫などにより高出力レーザの能力を最大限に活かすことで高速化に成功している。当日は我々のPLD法の高速化の現状について発表する。